2.2.7热阴频溅射（三极型溅射）hotcathodehighfrequencysputtering：借助于热阴极和阳极获得非自持气体放电，气体放电产生的离子，在靶表面负电位的作用下加速而轰击靶的溅射。
2.2.8离子束溅射ionbeamsputtering：利用特殊的离子源获得的离子束使靶的溅射。
2.2.9辉光放电清洗glowdischargecleaning：利用辉光放电原理，五金镀膜，使基片以及膜层表面经受气体放电轰击的清洗过程。
2.3物理气相沉积；pvdphysicalvapordeition：在真空状态下，镀膜材料经蒸发或溅射等物理方法气化，沉积到基片上的一种制取膜层的方法。
对于真空镀膜加工单片膜色不均匀产生的原因
主要是由于基片凹凸---，五金镀膜加工，与伞片曲率差异较大，基片上部、或下部法线与蒸发源构成的蒸发角差异较大。造成一片镜片上各部位接受膜料的条件差异大，形成的膜厚差异大。?
另外镜片被镜圈（）边缘部遮挡、镜圈（）脏在蒸镀时污染镜片等等也会造成膜色差异问题。?
---思路：---镜片边缘的蒸发角。
---对策：?
㈠?条件许可，用行星夹具；?
㈡?选用伞片平坦（r大）的机台；?
㈢?根据伞片孔位分布，基片形状，制作专门的锯齿形修正板。?
㈣?如果有可能，把蒸发源往真空室中间移动，五金镀膜厂家，也可---单片的膜色均匀性。?㈤?---镜圈（），防止遮挡。?
㈥?注意旋转伞架的相应部位对边缘镜片的部分遮挡?㈦?清洁镜圈（）?㈧?---膜料蒸发状况。
真空镀膜的功能是多方面的，这也决定了其应用场合非常丰富。总体来说，真空镀膜的主要功能包括赋予被镀件表面高度金属光泽和镜面效果，在薄膜材料上使膜层具有---的阻隔性能，提供优异的电磁屏蔽和导电效果。
真空镀膜则是相对于上述的湿式镀膜方法而发展起来的一种新型镀膜技术，通常称为干式镀膜技术。
众所周知，在某些材料的表面上，只要镀上一层薄膜，就能使材料具有许多新的、---的物理和化学性能。
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