对经过清洗处理的清洁表面,不能在---环境中存放,要用封闭容器或保洁柜贮存,以减小灰尘的沾污。用刚 氧化的铝容器贮存玻璃衬底,可使碳氢化合物蒸气的吸附减至zui小。因为这些容器优先吸附碳氢化合物。真空镀膜加工对于 高度不稳定的、对水蒸气敏感的表面,一般应贮存在真空干燥箱中。
真空镀膜加工清除镀膜室内的灰尘,设置清洁度高的工 作间,保持室内高度清洁是镀膜工艺对环境的基本要求。空气湿度大的地区,除镀前要对基片、真空室内各部 件认真清洗外,还要进行烘烤除气。要防止油带入真空室内,注意油扩散泵返油,对加热功率高的扩散泵必须 采取挡油措施。
pvd真空镀膜过程的均匀性
pvd真空镀膜过程非常复杂,由于镀膜原理的不同分为很多种类,仅仅因为都需要高真空度而拥有统一名称。所以对于不同原理的pvd真空镀膜,影响均匀性的因素也不尽相同。并且均匀性这个概念本身也会随着镀膜尺度和薄膜成分而有着不同的意义。
薄膜均匀性的概念:
厚度上的均匀性,五金镀膜厂,也可以理解为粗糙度,在光学薄膜的尺度上看(也就是1/10波长作为单位,真空五金镀膜,约为100a),真空镀膜的均匀性已经相当好,可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内,也就是说对于薄膜的光学特性来说,真空镀膜没有任何障碍。
真空镀膜基础知识
一,五金镀膜,镀膜作业步骤:
准备工作
1.镀膜前洗净
2.抽检镜片外观确认(裂边,五金镀膜厂家,伤痕,不洁)情况,全检镜片锁板情况(镜片倾斜,
3.确认好准备镀膜的镜片(数量,机种,面别)并做好相应记录
4.上伞,
将镜片从包装盒内装到镀膜机台伞架上(主意带手套拿取镀膜板四周,勿碰到镜片
5.区分需要镀膜镜片种类面别
6.清洁坩埚电子枪周围用铜刷刷,吸,并添加药材
7.确认晶振片,监控片是否ok在新的位置
8.确认机台内无杂物,后关门排气加热
9.镀膜
选取相应的制程
10.人员镀膜过程中进行监控
11.下伞
将镀膜后的镜片从伞架取下,放入包装盒
12.抽检
主要为膜点,雾状,颜色异常,不洁
13.光谱测量
采用奥林巴斯反射测定仪和u4---光光度计
14.伞架每圈抽1pcs共5圈
15.膜强度测试(采用3m胶带粘拉膜3次)
16.光谱量测ok后可送出
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